在靠近工作人员的位置提供一目了然的状态指示

为优化效率和产出，必须密切监控单晶圆沉积机中多个 FOUP 的进度。在这些机器附近工作的员工若是长时间暴露在塔灯的强光之下，会导致眼睛和身心疲劳。继续阅读本文，了解 TL30 基本型塔灯如何解决此应用。

应用：为 FOUP 的进度提供状态指示

沉积不过是半导体器件制造过程中必需完成的多道步骤中的一道而已。在各道工艺之间，硅晶圆存储在 FOUP（前开式晶圆传送盒）中，以确保将晶圆安全地置于受控环境中进行安全运输。 在规定的任何时间，都可以将多个 FOUP 加载到单晶圆沉积机中。一旦所有晶圆都处理完毕并返回到 FOUP，就可以将该 FOUP 取下，再将新的 FOUP 装入机器中。

为洁净室工作人员清晰指示每个 FOUP 的状态，可以提高效率并增加产出。但是，长时间在明亮的塔灯附近工作会造成工人眼睛疲劳、错误增加以及生产力下降。

解决方案：光输出舒适的塔灯

TL30 基本型塔灯提供一目了然的状态指示，而且能输出对人眼很舒适的光线水平。工作人员就算长时间在一个或多个塔灯附近工作，也不会感到不适或眼睛疲劳。

TL30 基本型塔灯部署在装载到单晶圆沉积机中的每个 FOUP 上方，为工作人员提供快速、一目了然的 FOUP 进度指示。在进行沉积过程中的特定阶段时，相应颜色的灯段会亮起。该阶段完成后，相应灯段显示为灰色，以防止由环境光引起的错误指示。亮起绿色灯段时，即可卸下该 FOUP，并装入新的 FOUP。

TL30 基本型塔灯的优势

设计紧凑

TL30 基本型塔灯配备纤细的 30 毫米圆柱灯体，很容易安装在较大型塔灯可能会干扰运动或流程并且灯体尺寸对应用而言可能过大的区域中。

经济实惠

TL30 基本型塔灯是邦纳最具成本效益的塔灯。这款完全独立的设备无需控制器，已完全组装妥当，可以在小型或大型应用中快速部署。LED 灯坚固耐用，防护等级为 IP65 和 IK07，可确保长期免维护运行。

舒适的光输出

TL30 基本型塔灯输出的光柔和，长时间在塔灯附近工作的人员会觉得眼睛更加舒适。